发布时间：2024-04-27 来源：网络
冰球突破游戏冰球突破游戏冰球突破游戏1、平坦度是硅片领域的重要参数，而双面抛光是控制平坦度参数的主要工艺，双面抛光设备主要通过控制抛光垫的形貌来控制平坦度。因此测量和控制抛光垫形貌尤为重要。
2、目前抛光设备无法测量抛光垫形貌，主要通过工人手持测厚仪去测量抛光垫厚度，分析抛光垫形貌，一方面人工测量会导致人力浪费，且人工检测只能定期执行，而进行检测时可能抛光垫已经处于质量不佳的状态，即人工检测所获取的数据有一定的延迟性，无法有效用于维护抛光垫，另一方面人工测量需要关停设备，在停产状态下进行，会降低产能。因此，现有对于抛光垫形貌检测的方法，存在浪费人力物力的缺点。
1、本发明实施例提供一种清洗系统及方法，解决现有对于抛光垫形貌检测的方法，存在浪费人力物力的缺点的问题。
8、其中，所述厚度检测装置在所述清洗装置移动清洗所述抛光垫时，同步检测所述抛光垫的厚度。
9、可选地，所述抛光垫包括：第一抛光垫和第二抛光垫，所述承载盘包括：第一承载盘和第二承载盘，所述厚度检测装置包括：第一厚度检测装置和第二厚度检测装置；
10、所述第一抛光垫设置在所述第一承载盘上，所述第二抛光垫设置在所述第二承载盘上，所述第一抛光垫与所述第二抛光垫相对；
12、所述第一厚度检测装置设置在所述清洗装置靠近所述第一抛光垫的一侧，用于在所述清洗装置移动清洗所述第一抛光垫时，同步检测所述第一抛光垫的厚度；
13、所述第二厚度检测装置设置在所述清洗装置靠近所述第二抛光垫的一侧，用于在所述清洗装置移动清洗所述第二抛光垫时，同步检测所述第二抛光垫的厚度。
15、所述第一驱动装置与所述第一厚度检测装置驱动连接，用于在所述清洗装置移动清洗所述第一抛光垫时，驱动所述第一厚度检测装置移动至与所述第一抛光垫接触，以同步检测所述第一抛光垫的厚度；
16、所述第二驱动装置与所述第二厚度检测装置驱动连接，用于在所述清洗装置移动清洗所述第二抛光垫时，驱动所述第二厚度检测装置移动至与所述第二抛光垫接触，以同步检测所述第二抛光垫的厚度。
17、可选地，所述第一厚度检测装置为第一涡流测厚仪，所述第二厚度检测装置为第二涡流测厚仪；
21、依据本发明实施例的第二方面，提供一种抛光垫检测方法，应用于如第一方面所述的抛光设备，所述方法包括：
23、在所述抛光设备运行的过程中，控制厚度检测装置对抛光垫进行厚度检测，得到厚度检测结果；
25、可选地，所述在所述抛光设备运行的过程中，控制厚度检测装置对抛光垫进行厚度检测，得到厚度检测结果，包括：
26、在清洗装置移动清洗所述抛光垫的过程中，控制所述厚度检测装置对所述抛光垫的多个位置进行厚度检测，得到多个厚度检测结果；
28、可选地，所述在清洗装置移动清洗所述抛光垫的过程中，控制所述厚度检测装置对所述抛光垫的多个位置进行厚度检测，得到多个厚度检测结果，包括：
29、在清洗装置移动清洗第一承载盘上的第一抛光垫的过程中，控制第一厚度检测装置对所述第一抛光垫的多个位置进行厚度检测，得到第一组厚度检测结果；
30、在清洗装置移动清洗第二承载盘上的第二抛光垫的过程中，控制第二厚度检测装置对所述第二抛光垫的多个位置进行厚度检测，得到第二组厚度检测结果。
31、可选地，所述控制第一厚度检测装置对所述第一抛光垫的多个位置进行厚度检测，包括：
32、控制第一驱动装置驱动所述第一厚度检测装置与所述第一抛光垫接触，并控制所述第一厚度检测装置对所述第一抛光垫的多个位置进行厚度检测；
33、所述控制第二厚度检测装置对所述第二抛光垫的多个位置进行厚度检测，包括：
34、控制第二驱动装置驱动所述第二厚度检测装置与所述第二抛光垫接触，并控制所述第二厚度检测装置对所述第二抛光垫的多个位置进行厚度检测。
35、可选地，所述根据所述厚度检测结果，生成所述抛光垫的形貌数据，包括：
36、根据所述清洗装置的清洗移动路径，将所述第一组厚度检测结果整合为所述第一抛光垫的形貌数据；
37、根据所述清洗装置的清洗移动路径，将所述第二组厚度检测结果整合为所述第二抛光垫的形貌数据。
38、本发明实施例中，在抛光设备上加装厚度检测装置，在抛光设备运行过程中检测抛光垫的厚度，一方面可以通过该厚度检测装置实现自动检测抛光垫的厚度，相比现有方式节省人力，且自动检测能够保证实时监控抛光垫的厚度，能够及时发现抛光垫是否出现质量问题，实现对抛光垫的有效维护；另一方面，自动检测与生产同步进行，不需要中断生产，能够有效保护产能。
2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述抛光设备还包括：用于清洗所述抛光垫的清洗装置；
3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述抛光垫包括：第一抛光垫和第二抛光垫，所述承载盘包括：第一承载盘和第二承载盘，所述厚度检测装置包括：第一厚度检测装置和第二厚度检测装置；
4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述清洗装置上还设置有第一驱动装置和第二驱动装置；
5.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述第一厚度检测装置为第一涡流测厚仪，所述第二厚度检测装置为第二涡流测厚仪；
6.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述第一驱动装置为第一气缸，所述第二驱动装置为第二气缸。
7.一种抛光垫检测方法，其特征在于，应用于如权利要求1至6任一项所述的抛光设备，所述方法包括：
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述在所述抛光设备运行的过程中，控制厚度检测装置对抛光垫进行厚度检测，得到厚度检测结果，包括：
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述在清洗装置移动清洗所述抛光垫的过程中，控制所述厚度检测装置对所述抛光垫的多个位置进行厚度检测，得到多个厚度检测结果，根据所述厚度检测结果，生成所述抛光垫的形貌数据，包括：
本发明实施例提供一种抛光设备及抛光垫检测方法，涉及抛光技术领域，抛光设备包括：抛光垫；承载盘，抛光垫设置在承载盘上；厚度检测装置，用于在抛光设备运行过程中检测抛光垫的厚度。在抛光设备上加装厚度检测装置，在抛光设备运行过程中检测抛光垫的厚度，一方面可以通过该厚度检测装置实现自动检测抛光垫的厚度，相比现有方式节省人力，且自动检测能够保证实时监控抛光垫的厚度，能够及时发现抛光垫是否出现质量问题，实现对抛光垫的有效维护；另一方面，自动检测与生产同步进行，不需要中断生产，能够有效保护产能。
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